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            感應(yīng)耦合等離子刻蝕機（ICP）
            
						 
            
							 
            功能：其他
            
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            儀器型號：SI500
              
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            發(fā)布人：管理員
              
						 
            
						 
            
							 
            
								 
            
									 
									 詳情 details 
								 
            
								 
            
									 

            可提供高速率、高選擇比以及低損傷的刻蝕。等離子體能夠在低氣壓下保持穩(wěn)定，因此能夠更好地控制刻蝕形貌?？梢钥涛gSi, SiO2, 金屬薄膜等，氮氣、氬氣、 CHF3、SF6、 O2、 Cl2、 BCl3?。
            


            
								 
            
							 
            
							 
            
							 		
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